蒸鍍材料有很多種材料，通常有金屬、復合材料和其他一些新型材料。一氧化硅也是常用的蒸鍍材料之一，目前一氧化硅蒸鍍材料用于在食品、藥品、醫療用品等的包裝用薄膜材料上形成具有優良阻氣性的硅氧化物蒸鍍膜，特別是涉及可以有效制造前述蒸鍍材料，而且在薄膜材料上形成蒸鍍膜時降低或防止產生飛濺現象，可以形成高質量、高純度的硅氧化物蒸鍍膜的一氧化硅蒸鍍材料及其制造方法和制造裝置。

另外，對于藥品、醫療用品，需要以更高的標準抑制內容物受到來自氣氛的污染、變質和劣化，而且需要蒸鍍膜本身達到不含不純物的高純度化。用于保護這些食品、藥品、醫療用品等的包裝用材料，需要具有阻止引起內容物氧化的各種氣體透過的阻氣性，以往使用了例如在紙或高分子薄膜上具有鋁箔或鋁蒸鍍膜的包裝材料。

如今，在進行包裝材料的再循環過程中，為了再利用前述具有鋁箔或鋁蒸鍍膜的包裝材料而需要進行金屬與紙或樹脂薄膜的分離，因此需要開發由不需要分離回收的材料構成的包裝材料。

例如，在高分子薄膜上形成一氧化硅蒸鍍膜的包裝材料，不僅可以只作為樹脂薄膜回收處理，而且一氧化硅蒸鍍膜具有優良的阻氣性，因而受到了重視。這種包裝材料是通過電阻加熱蒸鍍法或電子束加熱蒸鍍法使一氧化硅蒸鍍材料升華，將升華的氣體蒸鍍在高分子薄膜上制造的。