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濺射靶材對半導體產業鏈發展的影響


濺射靶材在過去的十年里發展技術顯著提高,濺射靶材促進集成電路產業快速發展,整體實力顯著提升,此外濺射靶材對設計和制造能力要求越來越高,需要更多高科技術含量。國內濺射靶材測試技術逐步接近國際先進水平,產業集聚效應日趨明顯。但是,與先進國家和地區相比,濺射靶材和集成電路技術依然存在較大差距,持續創新能力薄弱,高端芯片產品大量依賴進口,難以對構建國家產業核心競爭力、保障信息安全等形成有力支撐。

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研發創新實力半導體產業鏈對于目前國內市場非常重要,由于濺射靶材涉及范圍非常廣泛,需要投入大量投入人力、物力、財力進行高精尖端濺射靶材產品的研發,在制造芯片的集成電路專用設備中,需用到各種材料包括金屬材料,目前國內產品只能堅持幾十分鐘,因此幾乎全依賴進口,價格居高不下。目前,國內已經研發出耐腐蝕時長達到280分鐘至300分鐘的金屬材料,完成濺射靶材一個產業鏈的提升。

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半導體行業所用材料價格貴、技術含量極高,尤其是高端濺射靶材材料,在一些高端領域對濺射靶材的要求更加嚴格,因而加快研發濺射靶材也迫在眉睫。這也使得國內半導體產品雖經過了內部多次評估測試,但仍難以推向市場。濺射靶材對于半導體產業鏈的發展可以說是一場技術革命,沒有濺射靶材的支撐半導體產業發展也無法進行。


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