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硅基板

晶圓,是純硅(99.9999%)制成的一片片薄薄的圓形硅芯片。
因其形狀為圓形,故稱為晶圓。

NEXTECK提供的晶圓分成
半導體用硅晶圓材料和太陽能電池用硅晶圓材料兩種。


NEXTECK提供的半導體用的硅晶片主要集中在4~6 inch,具體的規格如下:

參數導體晶片規格
4 inch5 inch6 inch
電阻率(Ω/cm)P-Type doped: Boron, 0.001-0.01, 0.01-0.5, >0.5 P++, P+, P-
N-Type doped: As, Phos, Sb, 0.001-1, 1-150
徑公差(mm)±0.2±0.2±0.2
定向公差(100), (111)(100), (110), (111)(100), (110), (111)
定向公差±0.15°±0.15°±0.15°
邊緣輪廓T/RT/RT/R
邊緣條件11/22 Ground11/22 Ground11/22 Ground/Polished
厚度(μm)300-650400-650550-750
厚度公差(μm)±15±15±15
背面處理EtchPolySiO2EtchPolySiO2EtchPolySiO2
弓度(μm)±25±25(Before CVD)±25±25(Before CVD)±25±25(Before CVD)
翹曲(μm)2525(Before CVD)2525(Before CVD)2525(Before CVD)
選項Laser marking, Poly-back, SiO2 seal, Back side damage


NEXTECK提供的太陽能級別的晶硅產品可分為單晶硅和多晶硅兩種,我們可根據客戶的需求有不同的規格。一般的規格如下:

參數單晶矽晶圓規格多晶矽晶圓規格
種類156*156mm(單晶片)156*156mm (多晶片)
長方式CZ
類型PP
摻雜物
晶向<100>+/-3 deg
含碳量(atom/cm3)< 5*1016< 5*1017
含氧量(atom/cm3)< 1.1*1018< 1*1018
腐蝕坑缺陷(/cm3)<= 3000
電阻 (ohm-cm)0.5~3/3~60.5~3
載流子壽命  (μs)>10>=2
尺寸 (mm)156+/-0.5156+/-0.5
厚度(μm)200+/-20200+/-20
厚度偏差 (μm)<=30<=30
弓度/曲度 (μm)<100<50 / <100
表面見損傷深度 (um)<=15<=20

崩邊深度

Depth0.5mmDepth0.5mm
Vertical1.0mm, Length3.0mm, 
Defect2Defect2


立承德( NEXTECK )致力于太陽能光伏供應多年,我們與國內許多知名太陽能光伏組件生產廠家建立了長期合作關系,產品遠銷歐美和東南亞許多國家。

立承德( NEXTECK )產品經德國TUV檢測認證,提供安全和便捷的PV連接器材是 服務的宗旨。


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